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高精度微機(jī)電系統(tǒng)硅壓力變送器的結(jié)構(gòu)和工作原理；

由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，為了使傳感器通用，便于信號(hào)傳輸和記錄，傳感器與標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸入電路配合，輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)。此時(shí)輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的傳感器稱為變送器。

簡(jiǎn)而言之，發(fā)射器是由傳感器逐漸發(fā)展而來的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由微機(jī)電系統(tǒng)傳感器、測(cè)量膠囊以及接口和處理電路(智能電路板)組成。

如圖所示，壓力傳感器和二極管溫度傳感器一起封裝在測(cè)量艙的頂部，艙體由兩個(gè)密封法蘭夾緊，形成變送器的測(cè)量部分，變送器負(fù)責(zé)將工作現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)。另外，電子電路板、液晶顯示儀表和連接端子構(gòu)成顯示部分，通過雙線信號(hào)處理，將傳感器輸出的電壓信號(hào)放大轉(zhuǎn)換為4-20mA后，負(fù)責(zé)輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)。

如何壓力變送器工作:

基于單晶硅的壓阻效應(yīng)，利用先進(jìn)的微機(jī)電加工技術(shù)在硅片上制作特定方向的彈性元件，利用集成電路技術(shù)制作的四個(gè)阻值相等的力敏電阻在適當(dāng)位置連接成惠斯通電橋。恒定的電壓(電流)被施加到電橋，并且測(cè)量的壓力通過密封在測(cè)量膠囊中的硅油被無損耗地傳輸?shù)焦杵Ｗ兯推鬏敵雠c測(cè)量壓力成線性比例的電壓信號(hào)，然后通過電子電路將該電壓信號(hào)放大并轉(zhuǎn)換成雙線標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

根據(jù)其工作原理，壓力傳感器是變送器的重要組成部分，變送器的溫度漂移主要來源于硅壓力傳感器的溫度漂移。目前，對(duì)硅壓力變送器溫度漂移補(bǔ)償?shù)难芯恐饕性诠鑹毫鞲衅魃稀?/p>

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